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本篇文章將為您詳細介紹美國MKS質量流量計IE500A系列產品規格，描述質量流量計的特性及規格參數，如果您想了解該產品信息，相信一定會對您有所幫助，如您有該產品需要咨詢，隨時歡迎您來電，我們將會為您提供充分服務。
1、美國MKS質量流量計IE500A系列介紹
MKS高流量熱質量流量計在需要防水防塵的惡劣環境中流量高達1000 slm。IE500A系列高性能多氣體、多量程熱式質量流量計專為要求準確性、可重復性的最關鍵過程應用而設計。IE500A質量流量計是彈性體密封的多氣體/多量程MFM，設計用于需要防水和防塵的惡劣環境。應用包括那些可能需要“沖洗”的應用，例如存在水分和顆粒的工業玻璃生產。憑借IP66級外殼，IE500A MFM可滿足這些惡劣環境的嚴格要求。IE500A質量流量計的量程范圍為250 slm至500 slm（氮氣當量）。多氣體/多范圍功能以及嚴格的精度性能規格，使用戶能夠最大限度地減少高流量MFM零件號的庫存。
2、美國MKS質量流量計IE500A系列產品特性
多氣體/多范圍特征(以及其他自定義控件)是通過MFMs訪問的嵌入式診斷接口，不需要特殊的軟件或硬件來操作。標準以太網電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器，所有需要的工具都隨處可得。關鍵的典型高流速氣體的氣體參數為已經存儲在設備上。配置設備是只需選擇氣體菜單并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執行常規設備健康檢查、標繪圖流響應和存儲運行數據以供離線分析。
3、美國MKS質量流量計IE500A系列特點
①IP66級外殼可在惡劣環境中提供防水和防塵保護
②嚴格控制工藝氣體的流量精度改善工藝匹配
③多氣體/多范圍功能減少了MFM庫存
④嚴格控制工藝氣體的流量精度，以改善腔室工藝匹配
⑤嵌入式配置和診斷軟件允許用戶檢查MFM功能，而無需從工具中移除設備
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4、美國MKS質量流量計P系列產品規格
①類型：質量流量計(MFM)
②滿量程流量范圍：250-500平方米
③測量范圍：0.2-100%滿量程（機械范圍）
④最大入口壓力：150磅/平方英寸
⑤爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑥典型精度：±1%讀數（使用N2校準氣體）
⑦重復性：讀數的±0.5%
⑧零溫度系數：小于滿量程的0.05%/°C
⑨跨度溫度系數：小于讀數的0.08%/°C
⑩入口壓力系數：小于讀數的0.03%/psi
?工作溫度：10-50℃
?模擬I/O連接器：15針D型公頭
?流量輸入輸出信號：電壓(0-5 VDC)；電流(4-20 mA)
?電源要求15-24 VDC（小于4瓦）
5、美國MKS質量流量計IE500A系列通訊選項
①數字輸入/輸出：現場總線®
②所需輸入功率：+15至+24 VDC（小于2瓦）
③連接器：9針D型公頭（電源），9針D型母頭（通訊）
④數據速率開關/選擇：無開關
⑤通過Profibus：設置數據速率，無開關
⑥通訊。費率：9.6 Kbps至12 Mbps
⑦MAC ID開關/地址：2個開關，10個位置
⑧網絡規模：最多99個節點
⑨視覺指示器：LED通信（綠色/紅色），LED錯誤（綠色/紅色）
⑩遵守：CE
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