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品牌介紹：KLA-Tencor是一家領先的工藝控制和產量管理解決方案提供商，與世界各地的客戶合作開發最先進的檢測和計量技術。這些技術服務于半導體、數據存儲、LED、光伏和其他相關納米電子行業。憑借一系列行業標準產品和一支世界一流的工程師和科學家團隊，該公司30多年來一直為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯，在世界各地設有專門的客戶運營和服務中心。本文由深圳華聯歐官網小編給大家講述一下美國KLA-TENCOR檢測儀/光學表面分析儀。
一、美國KLA-TENCOR公司簡介
KLA-Tencor公司為全球知名的專業美資半導體(芯片)設備供應商，總部位于美國硅谷，擁有超過6000名員工。自1976年成立以來，該公司一直致力于產品研究與發展，為全球客戶提供更加完善和人性化的服務，同時協助半導體(芯片)制造商創造高品質、高效率的產品和質量。目前，KLA-Tencor在美洲、歐洲、亞洲等許多國家設有分支機構。KLA-Tencor始終致力于幫助全球客戶降低運營成本并增加收益，成為他們堅定不移的長期合作伙伴。KLA是全球最大的半導體晶圓制造設備(WFE)制造商之一。該公司專注于半導體工藝控制市場，其中機器在研發和制造過程中檢查半導體晶圓的缺陷并驗證精確測量。在這一市場領域，KLA占有多數份額。該公司還涉足WFE市場的蝕刻和沉積領域。其最大客戶包括全球最大的芯片制造商，包括臺積電和三星。
二、美國KLA-TENCOR部分產品介紹
1、美國KLA-TENCOR前端缺陷檢測工具
①KLA-Tencor前端缺陷檢測工具涵蓋了IC制造環境中的所有良率應用。這包括來料晶圓鑒定、研發以及工具、工藝和生產線監控。
②圖案化和非圖案化晶圓缺陷檢測工具可發現晶圓正面、背面和邊緣上的顆粒、圖案缺陷和電氣問題。
③缺陷檢查系統可捕獲檢查員檢測到的缺陷的高分辨率圖像，從而實現缺陷分類。
④他們的數據管理工具套件可匯編和簡化由檢查和檢查工具生成的缺陷數據，以提供相關的根本原因和良率分析信息。
⑤通過實施他們的缺陷檢查器、缺陷審查和分類工具以及數據管理系統，芯片制造商能夠快速識別、監控和解決流程問題，從而提高產量并加快產品上市時間。
2、美國KLA-TENCOR光學表面分析儀
①KLA-Tencor提供廣泛的計量解決方案，以解決IC制造商面臨的復雜工藝控制測量挑戰。
②隨著臨界尺寸縮小、薄膜厚度縮小到可數的原子層數以及設備變得更加復雜，圖案尺寸、薄膜厚度、層間對準、圖案放置、表面形貌和電光特性的精確計量和控制變得越來越重要。
③無論是驗證設計是否可制造、描述新工藝還是監控大批量制造工藝，其全面的計量、分析和工藝窗口優化產品都能使IC制造商能夠生產出高性能、可靠的設備。
3、美國KLA-TENCOR檢測儀
①無誤差光罩或掩模是實現高半導體器件產量的第一步，因為光罩缺陷可以在生產晶圓上復制。
②KLA-Tencor為掩模廠提供高靈敏度光罩檢測和計量系統，幫助確保光罩無缺陷并滿足掩模計量要求。
③光罩檢測系統使用光學成像和多種檢測模式在晶圓上印刷之前發現所有類型的光罩缺陷。
④計量系統通過提供最佳的光罩圖案放置精度和光罩關鍵尺寸的精確測量來確保光罩制造的質量。
⑤在IC制造環境中，芯片制造商依靠其高靈敏度的光罩缺陷檢測工具來確保光罩無缺陷，從而防止光罩缺陷印在生產晶圓上。
三、美國KLA-TENCOR主要產品
①美國KLA-TENCOR檢測儀
②美國KLA-TENCOR光學表面分析儀
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